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弥费自动物料(Pod、Cassette、FOUP……)传送系统由弥费自主研发的物料调度软件系统控制。通过模块化接口对应弥费传送设备来完成物料从A站点到B站点的自动传送过程。弥费自动物料传送系统内所有传送设备都遵循半导体设备标准通讯协议,包括SEMI E82、SEMI E84、SEMI E99等,使其易接入半导体工厂的上层系统来实现数据交互,达到工业4.0的标准。

弥费自动物料传送系统已经成功交付到8吋、12吋的晶圆厂,12吋的半导体封测厂以及4吋的LED外延厂运行。

应 用

规 格

 

产品

 搬运物料

洁净度要求

传送速度

软件调度系统

通讯

空中传送车

半导体晶圆盒

ISO 5

1.0米/秒

标配

SECS/GEM

空中传送机

半导体晶圆盒

ISO 3

0.3米/秒

选配

SECS/GEM

升降机

半导体晶圆盒

ISO 5

1.0米/秒

选配

SECS/GEM

移动机器人

半导体晶圆盒

ISO 5

1.0米/秒

标配

SECS/GEM

智能AGV

承载盘

ISO 5

1.2米/秒

标配

SECS/GEM

 

 

 

enlightened 半导体晶圆盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各生产设备站点间的流转;

enlightened 半导体晶圆盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各生产设备站点与存储设备间的流转;

enlightened 半导体晶圆盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各存储设备间的流转;

enlightened 半导体晶圆盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在空中地面传送的流转;

enlightened 承载盘(Susceptor)在各工艺段及存储区域的流转。

空中传送车

空中传送机

升降机

移动机器人

智能AGV