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关 于

弥费开发的净化系统系列产品主要用于先进技术节点(<=40nm)中关键工艺步骤的晶圆或光罩的品质保护,从而达到提高晶圆厂整体产品良率的目的。

本产品与工厂自动化系统及相关设备柔性连接,通过标准接口及闭环控制系统将超纯压缩空气(或氮气)送入所需净化载具,精准控制湿度从而有效改善产品品质(降低载体内水气、避免晶圆表面氧化或光罩表面雾化),并实现全自动控制及数据采集传送。

净化系统系列产品自2019年推出,已在全球多家排名前十的半导体晶圆厂安装并投入使用,且顺利通过量产验证。

应 用

规 格

产品

净化载体

气体

外设控制器

通讯

设备上下料端口净化

FOUP

XCDA or N2

标配

SECS/GEM

设备前端传送区净化

FOUP

XCDA or N2

选配

SECS/GEM

工艺生产存储单元净化

FOUP

XCDA or N2

标配

SECS/GEM

光罩盒存储净化

Reticle Case

XCDA or N2

标配

SECS/GEM

enlightened 设备上下料端口净化;

enlightened 设备前端传送区净化;

enlightened 工艺生产存储单元净化;

enlightened 光罩盒存储净化。

设备上下料端口净化

工艺生产存储单元净化

设备前端传送区净化

光罩盒存储净化