关 于

弥费物料（Pod、Cassette、FOUP、Reticle……）智能存储系统可识别RFID、Smart Tag、Barcode等各种物料ID，可灵活根据工厂需要客制化不同尺寸，使其更符合工厂现实需要。标准化的符合半导体通讯（SEMI E88, Stocker SEM）的软件控制接口能让弥费存储设备快速实施通讯交互，无论是弥费自身的物料调度系统还是客户的物料控制系统或者制造执行系统。无论是小区域存储、跨楼层存储、与生产设备整合的暂存或空中存储，弥费都有相应的产品与之对接，所有这些产品都符合SEMI S2的标准。弥费存储设备能很好地和传送设备相互协作，完成物料的转移。客户随时可以通过上层系统或弥费物料调度系统查看产品现在的存储位置及历史记录。弥费的存储产品都可改装成带有净化功能的存储设备来帮助客户实现产品工艺需求。

弥费存储设备已应用于半导体8吋和12吋工厂制造生产，帮助工厂管理，记录物料的存储位置和历史记录。

应 用

规 格

 半导体晶圆盒（包括Pod、Cassette、FOUP）存储；

 半导体晶圆盒（包括Pod、Cassette、FOUP）跨楼层存储及连接；

 半导体光罩盒（包括Pod、Cassette、FOUP）存储；

传送系统（OHT/OHS/AGV）间交互完成半导体晶圆盒的转移。

存储货柜

空中缓存区

电子货架

设备缓冲存储

立体库