金秋十月丰收季,弥费交付了秋天里的第一批产品!

 

10月13日,弥费的Dummy Load Port正式交付于国内知名芯片企业!

Dummy Load Port是用于连接OHT与设备Load Port的一个中转站。当OHT无法连接到设备Load Port时,可以在设备Load Port附近放置Dummy Load Port作为其之间的衔接点,这样,OHT就可与设备Load Port连接,进而提升设备利用率。

10月21日,弥费的Reticle Cabinet亮 相于 内知名      成电路 企业  

Reticle Cabinet是用于存储光罩盒的兼具存储与净化的设备。    

符合SEMI标准SECS/GEM协议,支持FDC功能实时上抛数据; 

放置于设备附近,拉近光罩与设备之间的距离,缩短光罩进入设备的时间,提升 设备利用率;

其RFID读取功能,能够读取光罩的状态信息,包括位置,湿度等,方便光罩的管理;

其Purge功能能够避免光罩表面雾化,做到光罩的品质保护,从而达到提高晶圆厂整体产品良率的目的。

10月21日,弥费的OHB Purge亮相于国内知名头部集成电路企业

弥费科技的OHB Purge 不仅可用于OHT轨道旁的FOUP存储,而且具有净化功能。

符合SEMI标准SECS/GEM协议,支持FDC功能实时上抛数据; 

其RFID功能,实时定位FOUP位置;

带有防静电和防水涂层的吹扫口可阻止particle;

能够持续吹扫,控制FOUP内湿度和particle,实时监测氧气和湿度,且每个吹扫的FOUP都会有性能图表报告。

2020年10月22日 15:31

企业动态 I 弥费科技Q3季度首批产品顺利交付