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1年前,弥费第一台TLP净化设备在上海华虹6厂(12吋)开始试用,经过一年小批量使用的验证,弥费科技于2020年8月27日再次批量交付100多台TLP设备,用于华虹6厂先进工艺生产。TLP是TOOL LOADPORT PURGE的简称,此设备用于28纳米工艺及更高制程的生产需要,使硅片一直处于一定的湿度和含氧量的洁净环境中。弥费TLP设备在自动化生产状态下,硅片盒(FOUP)由自动搬运系统(AMHS)放置到设备的片盒进入平台(Load Port);在测试状态下,硅片盒(FOUP)由人工手动放置到设备的片盒进入平台(Load Port)。在片盒放置完成之后,设备根据自动化生产系统会发出指令,按照接受到的生产条件(Recipe)指令自动完成生产,并且支持半导体设备通讯标准SECS/GEM,且能支持客户端FDC的数据收集。

 

弥费硅片净化设备也已获得新加坡G公司12吋FAB订单,有望今年得到大批量订单。

 

弥费科技将不断投入研发紧跟14nm及7nm制程,提供更有效率的硅片净化设备以满足客户自动化生产需求。此净化设备技术不仅用于硅片Wafer),同样可以应用于光罩(Reticle)存储。

 

8月是一个收获的季节,继两周前上海华虹5厂团队来访后,弥费工程师加班加点加快NTB交付前的马拉松测试,于2020年8月26日,成功将设备NTB(Near Tool Buffer)提前交付于华虹5厂。相信弥费的NTB会大大提高客户的设备利用率,为华虹5厂产能再创新高、添砖加瓦。NTB是用于储存FOUP及完成FOUP和机台LP上下料的自动化设备,其功能也可以理解成是Mini Stocker,对于一些OVERLAY、CDSEM等高速进出站的机台,能快速完成上下料,提高设备的利用率,从而增加FAB产能。

 

 

2020年是不平凡的一年,弥费科技作为国产半导体集成电路AMHS自动化设备供应商,将一如既往努力做好本分,提供最可靠、最有竞争力的产品给中国及全球半导体集成电路客户。

 

华虹五厂及华虹六厂是华虹集团下属子公司,华虹集团是国家“909”工程的载体,目前已发展成为以集成电路制造为主业、面向全球市场、具有较强自主创新能力和市场竞争力的高科技产业集团。华虹集团旗下上海华力成立于2010年1月,是国家“909”工程升级改造项目承担主体,拥有中国大陆第一条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线(华虹五厂),工艺技术覆盖55-40-28纳米各节点,月产能达3.5万片。目前在浦东康桥建设的第二条12英寸生产线(华虹六厂),设计月产能4万片,肩负国家“909”工程二次升级改造的重任,工艺技术从28纳米起步,最终将具备14纳米三维工艺的高性能芯片生产能力。

上海华力提供广泛的工艺技术平台及IP解决方案,全面应用于手机通信、消费类电子、智能卡、物联网、穿戴电子以及汽车电子等终端产品;同时也专注于差异化路线,重点布局射频、高压、嵌入式闪存、超低功耗、NOR闪存和图像传感器等特色工艺平台,致力于为国内外芯片设计公司、IDM公司和其他系统公司提供先进的工艺技术和全面的芯片制造服务。

2020年8月28日 11:14

弥费科技战高温,高效交付半导体集成电路专用设备!